材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
2期
13-16
,共4页
梁学勤%冯成坤%陈奕峰%沈辉%闻立时
樑學勤%馮成坤%陳奕峰%瀋輝%聞立時
량학근%풍성곤%진혁봉%침휘%문립시
单晶硅片%小金字塔绒面%TMAH%NaOH%太阳电池
單晶硅片%小金字塔絨麵%TMAH%NaOH%太暘電池
단정규편%소금자탑융면%TMAH%NaOH%태양전지
研究了TMAH(四甲基氢氧化铵)和NaOH腐蚀液在制作单晶硅片小绒面中的应用,制作出平均尺寸小于2μm的金字塔绒面;比较了不同硅片预处理(酸减薄、碱减薄、原片)对金字塔绒面尺寸、均匀性、覆盖率以及反射率的影响以及电池的I-V性能,分析了不同绒面结构对接触电阻的影响;指出单晶硅小金字塔绒面是使用激光制备高效晶体硅太阳电池的关键.
研究瞭TMAH(四甲基氫氧化銨)和NaOH腐蝕液在製作單晶硅片小絨麵中的應用,製作齣平均呎吋小于2μm的金字塔絨麵;比較瞭不同硅片預處理(痠減薄、堿減薄、原片)對金字塔絨麵呎吋、均勻性、覆蓋率以及反射率的影響以及電池的I-V性能,分析瞭不同絨麵結構對接觸電阻的影響;指齣單晶硅小金字塔絨麵是使用激光製備高效晶體硅太暘電池的關鍵.
연구료TMAH(사갑기경양화안)화NaOH부식액재제작단정규편소융면중적응용,제작출평균척촌소우2μm적금자탑융면;비교료불동규편예처리(산감박、감감박、원편)대금자탑융면척촌、균균성、복개솔이급반사솔적영향이급전지적I-V성능,분석료불동융면결구대접촉전조적영향;지출단정규소금자탑융면시사용격광제비고효정체규태양전지적관건.
