发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2010年
6期
848-853
,共6页
p-GaN%ZnO:Ga透明电极%表面化学处理%接触特性
p-GaN%ZnO:Ga透明電極%錶麵化學處理%接觸特性
p-GaN%ZnO:Ga투명전겁%표면화학처리%접촉특성
ZnO:Ca(GZO)透明电极沉积在p-CaN表面,用作透明电流扩展层.直接沉积在p-CaN上的p-GaN/GZO存在较大的势垒,容易形成肖特基接触,而良好的欧姆接触对功率LED器件至关重要.为了降低接触势垒,采用盐酸和氢氧化钠溶液对CaN表面进行去氧化层处理,并对p-GaN/GZO进行退火处理,研究表面处理和退火对p-GaN/GZO接触特性的影响.研究表明:碱性溶液处理有利于降低接触势垒;退火处理后,接触势垒略有增加.
ZnO:Ca(GZO)透明電極沉積在p-CaN錶麵,用作透明電流擴展層.直接沉積在p-CaN上的p-GaN/GZO存在較大的勢壘,容易形成肖特基接觸,而良好的歐姆接觸對功率LED器件至關重要.為瞭降低接觸勢壘,採用鹽痠和氫氧化鈉溶液對CaN錶麵進行去氧化層處理,併對p-GaN/GZO進行退火處理,研究錶麵處理和退火對p-GaN/GZO接觸特性的影響.研究錶明:堿性溶液處理有利于降低接觸勢壘;退火處理後,接觸勢壘略有增加.
ZnO:Ca(GZO)투명전겁침적재p-CaN표면,용작투명전류확전층.직접침적재p-CaN상적p-GaN/GZO존재교대적세루,용역형성초특기접촉,이량호적구모접촉대공솔LED기건지관중요.위료강저접촉세루,채용염산화경양화납용액대CaN표면진행거양화층처리,병대p-GaN/GZO진행퇴화처리,연구표면처리화퇴화대p-GaN/GZO접촉특성적영향.연구표명:감성용액처리유리우강저접촉세루;퇴화처리후,접촉세루략유증가.
