电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化
전자급다정규생산중록규완정류공예적설계화우화
Design and Optimization of Distillation Process for Chlorosilane in Production of Electronic Grade Polycrystalline Silicon
  • 万方数据
    化工设计 화공설계
    CHEMICAL ENGINEERING DESIGN
    2010年 3期 11-13,27 ,共4页

    周齐领%张晓辉

    주제령%장효휘

    多晶硅%精馏工艺%优化 多晶硅%精餾工藝%優化
    다정규%정류공예%우화
    比较目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的国内传统工艺和引进国外工艺;通过研究和借鉴,结合专家意见并进行模拟计算,设计和优化氯硅烷精馏工艺;简化流程,降低能耗,减少精制三氯氢硅中的杂质,从而提高多晶硅产品的品质.
    비교목전다정규생산중록규완정류적국내전통공예화인진국외공예;통과연구화차감,결합전가의견병진행모의계산,설계화우화록규완정류공예;간화류정,강저능모,감소정제삼록경규중적잡질,종이제고다정규산품적품질.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문