材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2010年
3期
30-34
,共5页
高k栅介质%ZrO2薄膜%表面粗糙度%硬度
高k柵介質%ZrO2薄膜%錶麵粗糙度%硬度
고k책개질%ZrO2박막%표면조조도%경도
在氧气和氩气的混合气体中,以O2/Ar流量比固定为1/4的条件,通过改变正偏压大小,采用多弧离子镀方法制备了新型高k栅介质--ZrO2薄膜.通过X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了在不同正偏压作用下正偏压值与薄膜的相结构、表面形貌之间的关系,利用纳米压痕仪测量了不同正偏压作用下沉积得到的ZrO2薄膜的硬度及弹性模量,并观察了ZrO2薄膜经不同温度退火处理后的相结构及表面形貌的变化.结果表明,在各个正偏压条件下,薄膜结构呈微晶或非晶;ZrO2薄膜的均方根粗糙度随着正偏压的升高而降低;正偏压为100V时硬度和弹性模量均达到最大值,分别为16.1GPa和210GPa.
在氧氣和氬氣的混閤氣體中,以O2/Ar流量比固定為1/4的條件,通過改變正偏壓大小,採用多弧離子鍍方法製備瞭新型高k柵介質--ZrO2薄膜.通過X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)研究瞭在不同正偏壓作用下正偏壓值與薄膜的相結構、錶麵形貌之間的關繫,利用納米壓痕儀測量瞭不同正偏壓作用下沉積得到的ZrO2薄膜的硬度及彈性模量,併觀察瞭ZrO2薄膜經不同溫度退火處理後的相結構及錶麵形貌的變化.結果錶明,在各箇正偏壓條件下,薄膜結構呈微晶或非晶;ZrO2薄膜的均方根粗糙度隨著正偏壓的升高而降低;正偏壓為100V時硬度和彈性模量均達到最大值,分彆為16.1GPa和210GPa.
재양기화아기적혼합기체중,이O2/Ar류량비고정위1/4적조건,통과개변정편압대소,채용다호리자도방법제비료신형고k책개질--ZrO2박막.통과X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)연구료재불동정편압작용하정편압치여박막적상결구、표면형모지간적관계,이용납미압흔의측량료불동정편압작용하침적득도적ZrO2박막적경도급탄성모량,병관찰료ZrO2박막경불동온도퇴화처리후적상결구급표면형모적변화.결과표명,재각개정편압조건하,박막결구정미정혹비정;ZrO2박막적균방근조조도수착정편압적승고이강저;정편압위100V시경도화탄성모량균체도최대치,분별위16.1GPa화210GPa.