福建师大福清分校学报
福建師大福清分校學報
복건사대복청분교학보
JOURNAL OF FUQING BRANCH OF FUJIAN NORMAL UNIVERSITY
2009年
z1期
43-46
,共4页
迈克尔逊干涉%白光干涉%薄膜厚度
邁剋爾遜榦涉%白光榦涉%薄膜厚度
매극이손간섭%백광간섭%박막후도
利用迈克尔逊干涉原理测量薄膜厚度的方法,以测量PE保鲜膜和透明塑料膜为例,采用白光干涉产生的彩色条纹来精确测量薄膜的厚度,通过采集干涉产生的实验数据,计算出薄膜的厚度,这是一种实用有效的方法.此方法的测量范围为1μm～1cm,测量精度为0.1μmn.
利用邁剋爾遜榦涉原理測量薄膜厚度的方法,以測量PE保鮮膜和透明塑料膜為例,採用白光榦涉產生的綵色條紋來精確測量薄膜的厚度,通過採集榦涉產生的實驗數據,計算齣薄膜的厚度,這是一種實用有效的方法.此方法的測量範圍為1μm～1cm,測量精度為0.1μmn.
이용매극이손간섭원리측량박막후도적방법,이측량PE보선막화투명소료막위례,채용백광간섭산생적채색조문래정학측량박막적후도,통과채집간섭산생적실험수거,계산출박막적후도,저시일충실용유효적방법.차방법적측량범위위1μm～1cm,측량정도위0.1μmn.
