传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
7期
950-953
,共4页
董宁宁%殷晨波%张子立%朱斌
董寧寧%慇晨波%張子立%硃斌
동저저%은신파%장자립%주빈
声表面波%氢气传感器%ANSYS%压电分析
聲錶麵波%氫氣傳感器%ANSYS%壓電分析
성표면파%경기전감기%ANSYS%압전분석
设计了声表面波氢气传感器的结构,利用ANSYS软件建立了声表面波传感器的有限元模型,并对SAW氢气传感器进行了仿真,最后用数据处理软件Origin分析了敏感薄膜的材料参数对传感器输出的影响.传感器通人1 000× 10-6的氢气后,钯膜的厚度、密度、弹性模量等发生了相应改变,进而导致输出电压、频率等发生改变.分析表明:钯膜的厚度增大时,声表面波在压电基底上的传播速度减慢,频率变小,输出端电压的幅值增大；钯膜的密度变小时,输出端电压的幅值变小；钯膜的弹性模量变小时,输出端电压的幅值增大,时间上略有延迟.
設計瞭聲錶麵波氫氣傳感器的結構,利用ANSYS軟件建立瞭聲錶麵波傳感器的有限元模型,併對SAW氫氣傳感器進行瞭倣真,最後用數據處理軟件Origin分析瞭敏感薄膜的材料參數對傳感器輸齣的影響.傳感器通人1 000× 10-6的氫氣後,鈀膜的厚度、密度、彈性模量等髮生瞭相應改變,進而導緻輸齣電壓、頻率等髮生改變.分析錶明:鈀膜的厚度增大時,聲錶麵波在壓電基底上的傳播速度減慢,頻率變小,輸齣耑電壓的幅值增大；鈀膜的密度變小時,輸齣耑電壓的幅值變小；鈀膜的彈性模量變小時,輸齣耑電壓的幅值增大,時間上略有延遲.
설계료성표면파경기전감기적결구,이용ANSYS연건건립료성표면파전감기적유한원모형,병대SAW경기전감기진행료방진,최후용수거처리연건Origin분석료민감박막적재료삼수대전감기수출적영향.전감기통인1 000× 10-6적경기후,파막적후도、밀도、탄성모량등발생료상응개변,진이도치수출전압、빈솔등발생개변.분석표명:파막적후도증대시,성표면파재압전기저상적전파속도감만,빈솔변소,수출단전압적폭치증대；파막적밀도변소시,수출단전압적폭치변소；파막적탄성모량변소시,수출단전압적폭치증대,시간상략유연지.
