武汉工业学院学报
武漢工業學院學報
무한공업학원학보
JOURNAL OF WUHAN POLYTECHNIC UNIVERSITY
2008年
4期
113-115
,共3页
脉冲激光沉积%ZnS薄膜%退火
脈遲激光沉積%ZnS薄膜%退火
맥충격광침적%ZnS박막%퇴화
利用射频辅助脉冲激光沉积技术,研究了退火处理对制备ZnS薄膜的影响.利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对制备样品的结构、形貌特性进行了表征.结果表明:退火处理更有利于ZnS薄膜的发光.
利用射頻輔助脈遲激光沉積技術,研究瞭退火處理對製備ZnS薄膜的影響.利用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)對製備樣品的結構、形貌特性進行瞭錶徵.結果錶明:退火處理更有利于ZnS薄膜的髮光.
이용사빈보조맥충격광침적기술,연구료퇴화처리대제비ZnS박막적영향.이용X사선연사(XRD)화소묘전자현미경(SEM)대제비양품적결구、형모특성진행료표정.결과표명:퇴화처리경유리우ZnS박막적발광.