清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
11期
1908-1910
,共3页
胡淏%董景新%万蔡辛%刘云峰
鬍淏%董景新%萬蔡辛%劉雲峰
호호%동경신%만채신%류운봉
微机械加速度计%环形二极管%电容检测%误差分析
微機械加速度計%環形二極管%電容檢測%誤差分析
미궤계가속도계%배형이겁관%전용검측%오차분석
方波激励下的环形二极管电容检测电路应用于微机械加速度计是一种新的尝试.根据实践,该方案可以很好地在闭环系统中工作.该文建立了这种解调电路的数学模型,进行了误差分析,给出了其参数对闭环系统的影响.该方案在将检测电容变化转换为电压变化的过程中会引入非线性因素,该文证明了这种影响在闭环后可以忽略.计算结果表明,较解调电容的变化,敏感结构电容的变化将对输出电压的变化起主要的影响作用.此外,推导出的静电力公式说明,较大的激励电压会减小系统的稳定裕量.
方波激勵下的環形二極管電容檢測電路應用于微機械加速度計是一種新的嘗試.根據實踐,該方案可以很好地在閉環繫統中工作.該文建立瞭這種解調電路的數學模型,進行瞭誤差分析,給齣瞭其參數對閉環繫統的影響.該方案在將檢測電容變化轉換為電壓變化的過程中會引入非線性因素,該文證明瞭這種影響在閉環後可以忽略.計算結果錶明,較解調電容的變化,敏感結構電容的變化將對輸齣電壓的變化起主要的影響作用.此外,推導齣的靜電力公式說明,較大的激勵電壓會減小繫統的穩定裕量.
방파격려하적배형이겁관전용검측전로응용우미궤계가속도계시일충신적상시.근거실천,해방안가이흔호지재폐배계통중공작.해문건립료저충해조전로적수학모형,진행료오차분석,급출료기삼수대폐배계통적영향.해방안재장검측전용변화전환위전압변화적과정중회인입비선성인소,해문증명료저충영향재폐배후가이홀략.계산결과표명,교해조전용적변화,민감결구전용적변화장대수출전압적변화기주요적영향작용.차외,추도출적정전력공식설명,교대적격려전압회감소계통적은정유량.
