真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
5期
410-414
,共5页
马占吉%赵栋才%肖更竭%任妮%武生虎
馬佔吉%趙棟纔%肖更竭%任妮%武生虎
마점길%조동재%초경갈%임니%무생호
类金刚石膜%掺铁%多层膜%力学性能
類金剛石膜%摻鐵%多層膜%力學性能
류금강석막%참철%다층막%역학성능
对离子源进行合理设计,使离子源中的Ar离子溅射产生Fe离子,利用裹挟Fe离子的Ar离子在制备类金刚石薄膜的过程中进行间歇性注入掺杂,制备多层类金刚石薄膜.这种多层类金刚石薄膜和单层类金刚石薄膜相比,应力从4.5 GPa降至3.9 GPa,摩擦系数从0.14降至0.1附近,同时保持硬度值不变.
對離子源進行閤理設計,使離子源中的Ar離子濺射產生Fe離子,利用裹挾Fe離子的Ar離子在製備類金剛石薄膜的過程中進行間歇性註入摻雜,製備多層類金剛石薄膜.這種多層類金剛石薄膜和單層類金剛石薄膜相比,應力從4.5 GPa降至3.9 GPa,摩抆繫數從0.14降至0.1附近,同時保持硬度值不變.
대리자원진행합리설계,사리자원중적Ar리자천사산생Fe리자,이용과협Fe리자적Ar리자재제비류금강석박막적과정중진행간헐성주입참잡,제비다층류금강석박막.저충다층류금강석박막화단층류금강석박막상비,응력종4.5 GPa강지3.9 GPa,마찰계수종0.14강지0.1부근,동시보지경도치불변.
