真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
13-16
,共4页
罗庆洪%杨会生%张天伟%王燕斌%陆永浩%于栋利
囉慶洪%楊會生%張天偉%王燕斌%陸永浩%于棟利
라경홍%양회생%장천위%왕연빈%륙영호%우동리
溅射角%显微结构%反应磁控溅射%氧化铬薄膜
濺射角%顯微結構%反應磁控濺射%氧化鉻薄膜
천사각%현미결구%반응자공천사%양화락박막
硬质涂层对工件表面改性已经成为现代先进制造加工行业越来越重视的工艺,工件一般为复杂外形,保证工件表面涂层性能结构的一致性尤为重要,为此,必须研究工件与靶源之间的相对位置对涂层结构性能影响的关系,为涂层工艺的工程化应用提供理论依据.本文采用射频反应磁控溅射分别在高速钢和单晶硅片基体上沉积了氧化铬薄膜,研究了样品表面与靶表面相对取向对涂层的相结构、表面和断面形貌、力学性能、生长模式等因素的影响.结果表明溅射方法沉积涂层的临界角度为45°,该临界点决定了涂层的性质与生长模式.
硬質塗層對工件錶麵改性已經成為現代先進製造加工行業越來越重視的工藝,工件一般為複雜外形,保證工件錶麵塗層性能結構的一緻性尤為重要,為此,必鬚研究工件與靶源之間的相對位置對塗層結構性能影響的關繫,為塗層工藝的工程化應用提供理論依據.本文採用射頻反應磁控濺射分彆在高速鋼和單晶硅片基體上沉積瞭氧化鉻薄膜,研究瞭樣品錶麵與靶錶麵相對取嚮對塗層的相結構、錶麵和斷麵形貌、力學性能、生長模式等因素的影響.結果錶明濺射方法沉積塗層的臨界角度為45°,該臨界點決定瞭塗層的性質與生長模式.
경질도층대공건표면개성이경성위현대선진제조가공행업월래월중시적공예,공건일반위복잡외형,보증공건표면도층성능결구적일치성우위중요,위차,필수연구공건여파원지간적상대위치대도층결구성능영향적관계,위도층공예적공정화응용제공이론의거.본문채용사빈반응자공천사분별재고속강화단정규편기체상침적료양화락박막,연구료양품표면여파표면상대취향대도층적상결구、표면화단면형모、역학성능、생장모식등인소적영향.결과표명천사방법침적도층적림계각도위45°,해림계점결정료도층적성질여생장모식.
