稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2007年
6期
750-754
,共5页
雷跃刚%王霈文%李弢%古宏伟
雷躍剛%王霈文%李弢%古宏偉
뢰약강%왕패문%리도%고굉위
反应溅射%CeO2缓冲层%蓝宝石%外延生长
反應濺射%CeO2緩遲層%藍寶石%外延生長
반응천사%CeO2완충층%람보석%외연생장
用金属铈作为靶材, 采用射频反应磁控溅射法在(1102)蓝宝石衬底上制备C轴取向CeO2外延薄膜缓冲层. 结果表明在温度低于450 ℃或溅射功率低于50 W的条件下CeO2 薄膜呈(111)取向生长; 升高温度和功率CeO2薄膜的(111)取向减弱, (002)取向增强; 在温度高于750 ℃或溅射功率高于120 W条件下CeO2薄膜呈(111)取向和(002)取向混合生长. 结合X射线衍射仪和原子力显微镜表征CeO2薄膜的结构和表面形貌, 获得在最优化条件下(衬底温度在680 ℃左右, 溅射功率在80 W左右, 溅射气压在25 Pa, 氩氧比在15∶1)制备的CeO2薄膜具有优良的面内面外取向和平整的表面.
用金屬鈰作為靶材, 採用射頻反應磁控濺射法在(1102)藍寶石襯底上製備C軸取嚮CeO2外延薄膜緩遲層. 結果錶明在溫度低于450 ℃或濺射功率低于50 W的條件下CeO2 薄膜呈(111)取嚮生長; 升高溫度和功率CeO2薄膜的(111)取嚮減弱, (002)取嚮增彊; 在溫度高于750 ℃或濺射功率高于120 W條件下CeO2薄膜呈(111)取嚮和(002)取嚮混閤生長. 結閤X射線衍射儀和原子力顯微鏡錶徵CeO2薄膜的結構和錶麵形貌, 穫得在最優化條件下(襯底溫度在680 ℃左右, 濺射功率在80 W左右, 濺射氣壓在25 Pa, 氬氧比在15∶1)製備的CeO2薄膜具有優良的麵內麵外取嚮和平整的錶麵.
용금속시작위파재, 채용사빈반응자공천사법재(1102)람보석츤저상제비C축취향CeO2외연박막완충층. 결과표명재온도저우450 ℃혹천사공솔저우50 W적조건하CeO2 박막정(111)취향생장; 승고온도화공솔CeO2박막적(111)취향감약, (002)취향증강; 재온도고우750 ℃혹천사공솔고우120 W조건하CeO2박막정(111)취향화(002)취향혼합생장. 결합X사선연사의화원자력현미경표정CeO2박막적결구화표면형모, 획득재최우화조건하(츤저온도재680 ℃좌우, 천사공솔재80 W좌우, 천사기압재25 Pa, 아양비재15∶1)제비적CeO2박막구유우량적면내면외취향화평정적표면.
