表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2007年
6期
12-14,24
,共4页
钟春良%董师润%喻利花%许俊华
鐘春良%董師潤%喻利花%許俊華
종춘량%동사윤%유리화%허준화
磁控溅射%Cr1-xAlxN涂层%微结构%抗氧化
磁控濺射%Cr1-xAlxN塗層%微結構%抗氧化
자공천사%Cr1-xAlxN도층%미결구%항양화
采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的Cr1-xAlxN涂层,通过能谱仪(EDS)测试涂层的成分,X射线衍射仪(XRD)表征涂层的微结构,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,研究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响.结果表明,涂层取CrN的面心立方结构生长,且呈(111)择优取向.随着Al含量增加,涂层的晶格常数减小,涂层的高温抗氧化性能显著提高.Cr0.6356Al0.3644N涂层随着氧化温度的升高,表面的Al含量略为上升,在900℃涂层产生裂纹失效.
採用磁控反應濺射法製備瞭一繫列不同Al含量的Cr1-xAlxN塗層,通過能譜儀(EDS)測試塗層的成分,X射線衍射儀(XRD)錶徵塗層的微結構,掃描電鏡(SEM)觀察塗層的錶麵形貌,研究瞭Al含量對塗層的微結構和高溫抗氧化性能的影響.結果錶明,塗層取CrN的麵心立方結構生長,且呈(111)擇優取嚮.隨著Al含量增加,塗層的晶格常數減小,塗層的高溫抗氧化性能顯著提高.Cr0.6356Al0.3644N塗層隨著氧化溫度的升高,錶麵的Al含量略為上升,在900℃塗層產生裂紋失效.
채용자공반응천사법제비료일계렬불동Al함량적Cr1-xAlxN도층,통과능보의(EDS)측시도층적성분,X사선연사의(XRD)표정도층적미결구,소묘전경(SEM)관찰도층적표면형모,연구료Al함량대도층적미결구화고온항양화성능적영향.결과표명,도층취CrN적면심립방결구생장,차정(111)택우취향.수착Al함량증가,도층적정격상수감소,도층적고온항양화성능현저제고.Cr0.6356Al0.3644N도층수착양화온도적승고,표면적Al함량략위상승,재900℃도층산생렬문실효.
