半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
12期
1018-1020,1036
,共4页
吴义伯%侯安州%倪鹤南%徐爱兰%惠春%任秋实
吳義伯%侯安州%倪鶴南%徐愛蘭%惠春%任鞦實
오의백%후안주%예학남%서애란%혜춘%임추실
柔性微电极阵列%聚对二甲苯%微加工工艺%神经接口
柔性微電極陣列%聚對二甲苯%微加工工藝%神經接口
유성미전겁진렬%취대이갑분%미가공공예%신경접구
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号.以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列.采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等.该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势.
基底集成的柔性微電極陣列(MEAs)從一箇全新的角度縯繹瞭植入式神經繫統,對神經進行電刺激併記錄神經電信號.以一種新型聚閤物材料聚對二甲苯(parylene)為基底,製備齣瞭用于神經接口的柔性神經微電極陣列.採用MEMS加工技術,設計瞭一種基于parylene柔性神經微電極陣列的加工工藝方法,併討論瞭在流片過程中的關鍵問題,如掩膜層的選擇、電極的剝離及銲接與封裝等.該柔性微電極陣列在用于視覺假體的神經接口方麵具有獨特的應用優勢.
기저집성적유성미전겁진렬(MEAs)종일개전신적각도연역료식입식신경계통,대신경진행전자격병기록신경전신호.이일충신형취합물재료취대이갑분(parylene)위기저,제비출료용우신경접구적유성신경미전겁진렬.채용MEMS가공기술,설계료일충기우parylene유성신경미전겁진렬적가공공예방법,병토론료재류편과정중적관건문제,여엄막층적선택、전겁적박리급한접여봉장등.해유성미전겁진렬재용우시각가체적신경접구방면구유독특적응용우세.
