高压物理学报
高壓物理學報
고압물이학보
CHINESE JOURNAL OF HIGH PRESSURE PHYSICS
2007年
3期
316-321
,共6页
金刚石膜%厚度%残余应力%有限元%主应力%界面
金剛石膜%厚度%殘餘應力%有限元%主應力%界麵
금강석막%후도%잔여응력%유한원%주응력%계면
采用有限元方法对钼基体上不同厚度(20～1 000 μm)金刚石膜的热残余应力进行了全面的模拟与分析,得出了它们在膜内分布的等值线图,研究了金刚石膜厚度尺寸对整个膜内的最大主拉应力和界面处每个应力分量最大值的影响.结果表明:在整个膜内,最大主拉应力的位置出现在膜的表面、界面或侧面,其值随膜厚度的增加而增大;在界面处,最大轴向应力随膜厚度的增加而增大,而最大径向压应力、最大周向压应力和最大剪应力则随膜厚度的增加而减小,其中最大剪应力减幅较小;膜厚度越大时,以上各量随厚度增(减)的速度越慢.其结论对于在金刚石膜的制备中合理地选择厚度、有效地进行应力控制有一定的参考价值.
採用有限元方法對鉬基體上不同厚度(20～1 000 μm)金剛石膜的熱殘餘應力進行瞭全麵的模擬與分析,得齣瞭它們在膜內分佈的等值線圖,研究瞭金剛石膜厚度呎吋對整箇膜內的最大主拉應力和界麵處每箇應力分量最大值的影響.結果錶明:在整箇膜內,最大主拉應力的位置齣現在膜的錶麵、界麵或側麵,其值隨膜厚度的增加而增大;在界麵處,最大軸嚮應力隨膜厚度的增加而增大,而最大徑嚮壓應力、最大週嚮壓應力和最大剪應力則隨膜厚度的增加而減小,其中最大剪應力減幅較小;膜厚度越大時,以上各量隨厚度增(減)的速度越慢.其結論對于在金剛石膜的製備中閤理地選擇厚度、有效地進行應力控製有一定的參攷價值.
채용유한원방법대목기체상불동후도(20～1 000 μm)금강석막적열잔여응력진행료전면적모의여분석,득출료타문재막내분포적등치선도,연구료금강석막후도척촌대정개막내적최대주랍응력화계면처매개응력분량최대치적영향.결과표명:재정개막내,최대주랍응력적위치출현재막적표면、계면혹측면,기치수막후도적증가이증대;재계면처,최대축향응력수막후도적증가이증대,이최대경향압응력、최대주향압응력화최대전응력칙수막후도적증가이감소,기중최대전응력감폭교소;막후도월대시,이상각량수후도증(감)적속도월만.기결론대우재금강석막적제비중합리지선택후도、유효지진행응력공제유일정적삼고개치.
