面向微粒操纵的介电泳芯片系统研究
면향미립조종적개전영심편계통연구
Development of a Dielectrophoretic Chip System for Micro-Particle Manipulation
  • 万方数据
    传感技术学报 전감기술학보
    Journal of Transduction Technology
    2007年 10期 2194-2198 ,共5页

    费飞%曲艳丽%董再励%童兆宏%李文荣

    비비%곡염려%동재려%동조굉%리문영

    介电泳%微粒操纵%微电极阵列%有限元方法 介電泳%微粒操縱%微電極陣列%有限元方法
    개전영%미립조종%미전겁진렬%유한원방법
    针对目前在纳米器件及传感器的制造中尚无对大量粒子进行有效操纵的方法,我们利用介电泳方法对大量微粒进行定位和传输操纵,介绍了利用MEMS工艺进行介电泳芯片加工的过程以及整个观测与实验系统的建立,通过有限元软件对传统介电泳和行波介电泳中电极阵列的电场分布进行求解,并在该实验系统下实现了对微通道中的悬浮高度和微粒的运动速度的测量.该实验系统的研究为液体环境下微纳颗粒的装配和分离提供了一条有效的技术路径.
    침대목전재납미기건급전감기적제조중상무대대량입자진행유효조종적방법,아문이용개전영방법대대량미립진행정위화전수조종,개소료이용MEMS공예진행개전영심편가공적과정이급정개관측여실험계통적건립,통과유한원연건대전통개전영화행파개전영중전겁진렬적전장분포진행구해,병재해실험계통하실현료대미통도중적현부고도화미립적운동속도적측량.해실험계통적연구위액체배경하미납과립적장배화분리제공료일조유효적기술로경.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문