半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
10期
1630-1635
,共6页
段飞%焦继伟%王育才%张颖%宓斌玮%李金鹏%钱清%王跃林
段飛%焦繼偉%王育纔%張穎%宓斌瑋%李金鵬%錢清%王躍林
단비%초계위%왕육재%장영%복빈위%리금붕%전청%왕약림
微机械陀螺%x轴%音叉式陀螺%"8悬臂梁-质量块"结构%限制槽%(111)硅晶圆
微機械陀螺%x軸%音扠式陀螺%"8懸臂樑-質量塊"結構%限製槽%(111)硅晶圓
미궤계타라%x축%음차식타라%"8현비량-질량괴"결구%한제조%(111)규정원
设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s.
設計、製作併測試瞭一種新穎的x軸音扠式微機械陀螺,它以"8懸臂樑-質量塊"結構來實現Coriolis力的檢測,與常見的單層彈性樑-質量塊結構相比,具有更好的模態穩定性;大質量塊與薄彈性樑的結構設計有助于穫得低機械譟聲與高靈敏度.採用體硅微機械加工工藝在(111)硅晶圓上試製瞭基于"8懸臂樑-質量塊"結構的微陀螺,由于在(111)晶嚮上硅的濕法腐蝕速率極其緩慢,而用氧化硅填充的限製槽限定側嚮腐蝕範圍,因此這套工藝能對雙層彈性樑的結構呎吋進行精確控製,穫得較小的模態失配.在大氣環境中,該陀螺具有±200°/s的量程,角速度靈敏度為0.15mV/(°/s),分辨率約為0.1°/s.
설계、제작병측시료일충신영적x축음차식미궤계타라,타이"8현비량-질량괴"결구래실현Coriolis력적검측,여상견적단층탄성량-질량괴결구상비,구유경호적모태은정성;대질량괴여박탄성량적결구설계유조우획득저궤계조성여고령민도.채용체규미궤계가공공예재(111)규정원상시제료기우"8현비량-질량괴"결구적미타라,유우재(111)정향상규적습법부식속솔겁기완만,이용양화규전충적한제조한정측향부식범위,인차저투공예능대쌍층탄성량적결구척촌진행정학공제,획득교소적모태실배.재대기배경중,해타라구유±200°/s적량정,각속도령민도위0.15mV/(°/s),분변솔약위0.1°/s.
