工程力学
工程力學
공정역학
ENGINEERING MECHANICS
2007年
9期
173-178
,共6页
杨云柯%高立华%陈海昕%符松
楊雲柯%高立華%陳海昕%符鬆
양운가%고립화%진해흔%부송
氮化镓%MOCVD%计算流体力学%数值仿真%优化设计
氮化鎵%MOCVD%計算流體力學%數值倣真%優化設計
담화가%MOCVD%계산류체역학%수치방진%우화설계
利用计算流体力学(CFD)方法对某型立式喷淋式金属有机物化学气相沉积(MOCVD)反应室流场进行了三维数值仿真,研究了影响MOCVD反应室流场结构的各工作参数(流量、温度、压力)的作用机制,并对试制中的MOCVD设备的几何结构及进气方式进行了改进,采用了圆弧形过渡拐角及泊肃叶型入口速度剖面,以形成稳定均匀的流场,从而保证氮化镓(GaN)的生长质量.
利用計算流體力學(CFD)方法對某型立式噴淋式金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)反應室流場進行瞭三維數值倣真,研究瞭影響MOCVD反應室流場結構的各工作參數(流量、溫度、壓力)的作用機製,併對試製中的MOCVD設備的幾何結構及進氣方式進行瞭改進,採用瞭圓弧形過渡枴角及泊肅葉型入口速度剖麵,以形成穩定均勻的流場,從而保證氮化鎵(GaN)的生長質量.
이용계산류체역학(CFD)방법대모형입식분림식금속유궤물화학기상침적(MOCVD)반응실류장진행료삼유수치방진,연구료영향MOCVD반응실류장결구적각공작삼수(류량、온도、압력)적작용궤제,병대시제중적MOCVD설비적궤하결구급진기방식진행료개진,채용료원호형과도괴각급박숙협형입구속도부면,이형성은정균균적류장,종이보증담화가(GaN)적생장질량.
