光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2007年
7期
72-75
,共4页
陈焘%罗崇泰%刘宏开%周东平
陳燾%囉崇泰%劉宏開%週東平
진도%라숭태%류굉개%주동평
线性渐变滤光片%多光谱%膜厚均匀性
線性漸變濾光片%多光譜%膜厚均勻性
선성점변려광편%다광보%막후균균성
线性渐变滤光片是一种特殊的滤光片,它的中心波长是随着在滤光片上位置的不同而变化的.采用离子束辅助沉积技术研制的线性渐变滤光片在0.4～1.1 μm波段有10通道,平均透射率从77.5%增加到97.4%,在基板的中间任一位置只透过0.4～1.1 μm内的一种特定波长的光.同时讨论了膜厚均匀性对线性渐变滤光片光谱性能的影响,计算表明镀制线性渐变滤光片时,在一定的配置下基片具有最佳的尺寸大小.
線性漸變濾光片是一種特殊的濾光片,它的中心波長是隨著在濾光片上位置的不同而變化的.採用離子束輔助沉積技術研製的線性漸變濾光片在0.4～1.1 μm波段有10通道,平均透射率從77.5%增加到97.4%,在基闆的中間任一位置隻透過0.4～1.1 μm內的一種特定波長的光.同時討論瞭膜厚均勻性對線性漸變濾光片光譜性能的影響,計算錶明鍍製線性漸變濾光片時,在一定的配置下基片具有最佳的呎吋大小.
선성점변려광편시일충특수적려광편,타적중심파장시수착재려광편상위치적불동이변화적.채용리자속보조침적기술연제적선성점변려광편재0.4～1.1 μm파단유10통도,평균투사솔종77.5%증가도97.4%,재기판적중간임일위치지투과0.4～1.1 μm내적일충특정파장적광.동시토론료막후균균성대선성점변려광편광보성능적영향,계산표명도제선성점변려광편시,재일정적배치하기편구유최가적척촌대소.
