材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
6期
140-143
,共4页
徐慢%谢毅%周学东%袁启华%赵修建
徐慢%謝毅%週學東%袁啟華%趙脩建
서만%사의%주학동%원계화%조수건
磁控溅射%薄膜%聚四氟乙烯%疏水性
磁控濺射%薄膜%聚四氟乙烯%疏水性
자공천사%박막%취사불을희%소수성
以聚四氟乙烯(PTFE)为靶材,用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了氟碳高分子薄膜,并对其结构和表面性能进行了研究.由XPS的结果可知,构成薄膜的大分子由-CF-、-CF2-和-CF3等组分组成.随着氩气压强的增加,缺氟基团-C-增加,而-CF2-、-CF3等富氟基团以及F/C均减少;随着氮气偏压的增加,-CF-、-CF2-和-CF3以及F/C和N/C增加.同时探讨了溅射气氛对薄膜表面形貌、疏水性能及表面能的影响.
以聚四氟乙烯(PTFE)為靶材,用射頻磁控濺射方法在玻璃襯底上製備瞭氟碳高分子薄膜,併對其結構和錶麵性能進行瞭研究.由XPS的結果可知,構成薄膜的大分子由-CF-、-CF2-和-CF3等組分組成.隨著氬氣壓彊的增加,缺氟基糰-C-增加,而-CF2-、-CF3等富氟基糰以及F/C均減少;隨著氮氣偏壓的增加,-CF-、-CF2-和-CF3以及F/C和N/C增加.同時探討瞭濺射氣氛對薄膜錶麵形貌、疏水性能及錶麵能的影響.
이취사불을희(PTFE)위파재,용사빈자공천사방법재파리츤저상제비료불탄고분자박막,병대기결구화표면성능진행료연구.유XPS적결과가지,구성박막적대분자유-CF-、-CF2-화-CF3등조분조성.수착아기압강적증가,결불기단-C-증가,이-CF2-、-CF3등부불기단이급F/C균감소;수착담기편압적증가,-CF-、-CF2-화-CF3이급F/C화N/C증가.동시탐토료천사기분대박막표면형모、소수성능급표면능적영향.
