基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究
기우NEMS기술적개전영심편급기관건공예문제적연구
A new 3-D Nanogap Electrode Grid Array Biosensor Based on NEMS and Critical Problems on Fabrication
  • 万方数据
    传感技术学报 전감기술학보
    Journal of Transduction Technology
    2006年 5期 1978-1982 ,共5页

    刘泳宏%赵湛

    류영굉%조담

    生物传感器%介电泳%反应离子刻蚀%NEMS技术 生物傳感器%介電泳%反應離子刻蝕%NEMS技術
    생물전감기%개전영%반응리자각식%NEMS기술
    结合信息技术、生物技术与纳米技术的发展,提出一种基于NEMS技术的"三维纳隙网格阵列微电极生物传感器"设计,用于生物样品在蛋白或细胞水平上的介电泳分离和检测.重点针对传感器制作的关键工艺问题,创新性地提出了一种利用反应离子刻蚀侧向钻蚀效应实现纳隙薄金属悬臂梁结构的理论和方法,此方法对电容式生物传感器的制作有普遍的实践意义.
    결합신식기술、생물기술여납미기술적발전,제출일충기우NEMS기술적"삼유납극망격진렬미전겁생물전감기"설계,용우생물양품재단백혹세포수평상적개전영분리화검측.중점침대전감기제작적관건공예문제,창신성지제출료일충이용반응리자각식측향찬식효응실현납극박금속현비량결구적이론화방법,차방법대전용식생물전감기적제작유보편적실천의의.
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