机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2006年
3期
206-211
,共6页
曾其勇%孙宝元%徐静%贾颖%崔云先%邓新禄%徐军
曾其勇%孫寶元%徐靜%賈穎%崔雲先%鄧新祿%徐軍
증기용%손보원%서정%가영%최운선%산신록%서군
薄膜热电偶%切削温度%磁控溅射%离子镀%化爆材料
薄膜熱電偶%切削溫度%磁控濺射%離子鍍%化爆材料
박막열전우%절삭온도%자공천사%리자도%화폭재료
针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器.用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内.薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜.对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在O～600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0.8 ms.热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度.该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障.
針對化爆材料的切削特點,研製齣一種集切削和測溫功能于一體的NiCr/NiSi薄膜熱電偶快速響應溫度傳感器.用多弧離子鍍將NiCr/NiSi熱電偶薄膜直接鍍于高速鋼刀頭內.薄膜熱電偶電極與高速鋼之間採用最先進的多層鍍膜法絕緣,即用微波ECR等離子體源增彊射頻反應非平衡磁控濺射技術首次成功在W18Cr4V高速鋼基底上沉積絕緣性能良好的SiO2膜.對研製的薄膜熱電偶溫度傳感器進行瞭靜態和動態標定,結果錶明傳感器在O～600℃測溫範圍內具有很好的線性和熱穩定性,而且響應快,時間常數小于0.8 ms.熱電偶薄膜與絕緣膜、絕緣膜與基體之間有足夠的附著彊度.該溫度傳感器已安裝在現場使用,為國防工業部門的高效、安全生產提供瞭有力的保障.
침대화폭재료적절삭특점,연제출일충집절삭화측온공능우일체적NiCr/NiSi박막열전우쾌속향응온도전감기.용다호리자도장NiCr/NiSi열전우박막직접도우고속강도두내.박막열전우전겁여고속강지간채용최선진적다층도막법절연,즉용미파ECR등리자체원증강사빈반응비평형자공천사기술수차성공재W18Cr4V고속강기저상침적절연성능량호적SiO2막.대연제적박막열전우온도전감기진행료정태화동태표정,결과표명전감기재O～600℃측온범위내구유흔호적선성화열은정성,이차향응쾌,시간상수소우0.8 ms.열전우박막여절연막、절연막여기체지간유족구적부착강도.해온도전감기이안장재현장사용,위국방공업부문적고효、안전생산제공료유력적보장.
