材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
1期
109-112
,共4页
赵懿琨%连洁%张飒飒%王公堂%宫文栎%于元勋%卜刚
趙懿琨%連潔%張颯颯%王公堂%宮文櫟%于元勛%蔔剛
조의곤%련길%장삽삽%왕공당%궁문력%우원훈%복강
ZnO薄膜%紫外探测器%宽带隙半导体
ZnO薄膜%紫外探測器%寬帶隙半導體
ZnO박막%자외탐측기%관대극반도체
ZnO是一种新型的宽带隙半导体光电材料,可用于制作高性能的紫外探测器,是未来半导体紫外探测器的发展重点.介绍了ZnO基紫外探测器常见的器件结构、探测材料的基本特性和主要制备方法,以及器件近期的研究进展,并扼要分析了其今后的发展方向.
ZnO是一種新型的寬帶隙半導體光電材料,可用于製作高性能的紫外探測器,是未來半導體紫外探測器的髮展重點.介紹瞭ZnO基紫外探測器常見的器件結構、探測材料的基本特性和主要製備方法,以及器件近期的研究進展,併扼要分析瞭其今後的髮展方嚮.
ZnO시일충신형적관대극반도체광전재료,가용우제작고성능적자외탐측기,시미래반도체자외탐측기적발전중점.개소료ZnO기자외탐측기상견적기건결구、탐측재료적기본특성화주요제비방법,이급기건근기적연구진전,병액요분석료기금후적발전방향.
