功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
1期
49-51,54
,共4页
李荣斌%胡晓君%沈荷生%何贤昶
李榮斌%鬍曉君%瀋荷生%何賢昶
리영빈%호효군%침하생%하현창
共掺杂%化学气相沉积%金刚石薄膜
共摻雜%化學氣相沉積%金剛石薄膜
공참잡%화학기상침적%금강석박막
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以丙酮为碳源,用二甲基二硫和三氧化二硼作掺杂源,在硅衬底上制备了硼与硫共掺杂的金刚石薄膜.用俄歇谱分析金刚石薄膜中硫的含量,用傅里叶红外光谱(FTIR)分析了薄膜表面键结构,用扫描电子显微镜(SEM)观测薄膜的表面形貌,X射线衍射(XRD)和喇曼(Raman)光谱表征膜层的结构.结果表明:微量硼的加入促进硫在金刚石中的固溶度,使硫在金刚石中的掺杂率提高了近50%;随着薄膜中硫含量的增加,薄膜的导电性增加,当薄膜中硫含量达到0.15%(原子分数)时其导电激活能为0.39eV.
利用微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)技術,以丙酮為碳源,用二甲基二硫和三氧化二硼作摻雜源,在硅襯底上製備瞭硼與硫共摻雜的金剛石薄膜.用俄歇譜分析金剛石薄膜中硫的含量,用傅裏葉紅外光譜(FTIR)分析瞭薄膜錶麵鍵結構,用掃描電子顯微鏡(SEM)觀測薄膜的錶麵形貌,X射線衍射(XRD)和喇曼(Raman)光譜錶徵膜層的結構.結果錶明:微量硼的加入促進硫在金剛石中的固溶度,使硫在金剛石中的摻雜率提高瞭近50%;隨著薄膜中硫含量的增加,薄膜的導電性增加,噹薄膜中硫含量達到0.15%(原子分數)時其導電激活能為0.39eV.
이용미파등리자체화학기상침적(MPCVD)기술,이병동위탄원,용이갑기이류화삼양화이붕작참잡원,재규츤저상제비료붕여류공참잡적금강석박막.용아헐보분석금강석박막중류적함량,용부리협홍외광보(FTIR)분석료박막표면건결구,용소묘전자현미경(SEM)관측박막적표면형모,X사선연사(XRD)화나만(Raman)광보표정막층적결구.결과표명:미량붕적가입촉진류재금강석중적고용도,사류재금강석중적참잡솔제고료근50%;수착박막중류함량적증가,박막적도전성증가,당박막중류함량체도0.15%(원자분수)시기도전격활능위0.39eV.
