北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2003年
3期
320-324
,共5页
于理科%郭慧民%任永玲%李国辉%姬成周
于理科%郭慧民%任永玲%李國輝%姬成週
우이과%곽혜민%임영령%리국휘%희성주
离子注入%高斯模型%半高斯模型
離子註入%高斯模型%半高斯模型
리자주입%고사모형%반고사모형
通过trim软件和高斯模型对离子注入后快速退火载流子分布进行设计,初步构造出离子注入的分布图像,通过与实验结果比较,进一步完善模型.选用高斯与半高斯混合模型,得到了与实验结果更吻合的模拟方案.从而找到了研制NPN型偶载场效应晶体管(VDCFET)离子注入的最佳条件,并研制了性能良好的VDCFET.
通過trim軟件和高斯模型對離子註入後快速退火載流子分佈進行設計,初步構造齣離子註入的分佈圖像,通過與實驗結果比較,進一步完善模型.選用高斯與半高斯混閤模型,得到瞭與實驗結果更吻閤的模擬方案.從而找到瞭研製NPN型偶載場效應晶體管(VDCFET)離子註入的最佳條件,併研製瞭性能良好的VDCFET.
통과trim연건화고사모형대리자주입후쾌속퇴화재류자분포진행설계,초보구조출리자주입적분포도상,통과여실험결과비교,진일보완선모형.선용고사여반고사혼합모형,득도료여실험결과경문합적모의방안.종이조도료연제NPN형우재장효응정체관(VDCFET)리자주입적최가조건,병연제료성능량호적VDCFET.
