红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2001年
4期
18-21
,共4页
HgCdTe晶片%表面损伤%电化学腐蚀
HgCdTe晶片%錶麵損傷%電化學腐蝕
HgCdTe정편%표면손상%전화학부식
对HgCdTe晶片的研磨和抛光,不可避免的要在其表面造成可见的机械划痕和不可见的损伤区.表面损伤对探测器的影响很大,控制好HgCdTe晶片的表面损伤是制备高性能多元探测器一个重要的工艺环节.在本文中,用电化学腐蚀的方法观察到这种不可见损伤区的存在,用电子探针成分分析法验证了实验结果,对电化学腐蚀机理进行了讨论.实验结果表明:通过电化学腐蚀方法可以直接观察HgCdTe表面不可见损伤区;即使是在显微镜下看到HgCdTe晶片有一个光亮和无划痕的表面,也可能存在不可见的损伤区.
對HgCdTe晶片的研磨和拋光,不可避免的要在其錶麵造成可見的機械劃痕和不可見的損傷區.錶麵損傷對探測器的影響很大,控製好HgCdTe晶片的錶麵損傷是製備高性能多元探測器一箇重要的工藝環節.在本文中,用電化學腐蝕的方法觀察到這種不可見損傷區的存在,用電子探針成分分析法驗證瞭實驗結果,對電化學腐蝕機理進行瞭討論.實驗結果錶明:通過電化學腐蝕方法可以直接觀察HgCdTe錶麵不可見損傷區;即使是在顯微鏡下看到HgCdTe晶片有一箇光亮和無劃痕的錶麵,也可能存在不可見的損傷區.
대HgCdTe정편적연마화포광,불가피면적요재기표면조성가견적궤계화흔화불가견적손상구.표면손상대탐측기적영향흔대,공제호HgCdTe정편적표면손상시제비고성능다원탐측기일개중요적공예배절.재본문중,용전화학부식적방법관찰도저충불가견손상구적존재,용전자탐침성분분석법험증료실험결과,대전화학부식궤리진행료토론.실험결과표명:통과전화학부식방법가이직접관찰HgCdTe표면불가견손상구;즉사시재현미경하간도HgCdTe정편유일개광량화무화흔적표면,야가능존재불가견적손상구.
