稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2003年
1期
1-4
,共4页
李戈扬%韩增虎%田家万%张流强%顾明元
李戈颺%韓增虎%田傢萬%張流彊%顧明元
리과양%한증호%전가만%장류강%고명원
W/Mo纳米多层膜%界面结构%超晶格%超硬效应
W/Mo納米多層膜%界麵結構%超晶格%超硬效應
W/Mo납미다층막%계면결구%초정격%초경효응
研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应.W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度.结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距随调制周期的减小而相互接近,在多层膜中形成交变应力场,从而使薄膜得到强化.
研究瞭W/Mo納米多層膜的微結構及超硬效應.W/Mo納米多層膜採用磁控濺射技術製備,併採用XRD、TEM和顯微硬度計研究瞭薄膜的微結構和硬度.結果錶明,W/Mo納米多層膜形成多晶外延生長的超晶格結構;界麵共格畸變使W,Mo兩調製層的晶麵間距隨調製週期的減小而相互接近,在多層膜中形成交變應力場,從而使薄膜得到彊化.
연구료W/Mo납미다층막적미결구급초경효응.W/Mo납미다층막채용자공천사기술제비,병채용XRD、TEM화현미경도계연구료박막적미결구화경도.결과표명,W/Mo납미다층막형성다정외연생장적초정격결구;계면공격기변사W,Mo량조제층적정면간거수조제주기적감소이상호접근,재다층막중형성교변응력장,종이사박막득도강화.
