CAJ | 학술논문

脉冲高能量密度等离子体是一项全新的等离子体材料表面处理和薄膜制备技术.文章主要介绍了作者近几年来在这方面的研究成果.从理论和试验上研究了脉冲高能量密度等离子体的产生机制及其物理性质.研究了脉冲等离子体与材料相互作用的基本物理现象和物理机制.诊断测量表明,脉冲等离子体具有电子温度高(10-100eV)、等离子体密度高(1014-1016cm-3)、定向速度高(～107cm/s)、功率大(104W/cm2)等特点.在制备薄膜时具有沉积速率高,薄膜与基底粘结力强,并兼有激光表面处理、电子束处理、冲击波轰击、离子注入、溅射、化学气相沉积等综合性特点,可以在室温下合成亚稳态相和其他化合物材料.在此基础上,系统地进行了脉冲等离子体薄膜制备和材料表面改性及其机理的研究.在室温下的不同材料衬底上成功地沉积了性能良好的较大颗粒立方氮化硼、碳氮化钛、氮化钛、类金刚石、氮化铝等薄膜材料.沉积薄膜和基底之间存在一个很宽的过渡层,因此导致薄膜与基底有很强的粘结力.经脉冲等离子体处理过的金属材料表面性能得到了极大改善.
맥충고능량밀도등리자체시일항전신적등리자체재료표면처리화박막제비기술.문장주요개소료작자근궤년래재저방면적연구성과.종이론화시험상연구료맥충고능량밀도등리자체적산생궤제급기물이성질.연구료맥충등리자체여재료상호작용적기본물리현상화물리궤제.진단측량표명,맥충등리자체구유전자온도고(10-100eV)、등리자체밀도고(1014-1016cm-3)、정향속도고(～107cm/s)、공솔대(104W/cm2)등특점.재제비박막시구유침적속솔고,박막여기저점결력강,병겸유격광표면처리、전자속처리、충격파굉격、리자주입、천사、화학기상침적등종합성특점,가이재실온하합성아은태상화기타화합물재료.재차기출상,계통지진행료맥충등리자체박막제비화재료표면개성급기궤리적연구.재실온하적불동재료츤저상성공지침적료성능량호적교대과립립방담화붕、탄담화태、담화태、류금강석、담화려등박막재료.침적박막화기저지간존재일개흔관적과도층,인차도치박막여기저유흔강적점결력.경맥충등리자체처리과적금속재료표면성능득도료겁대개선.