高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2002年
9期
38-41
,共4页
熊斌%黄小振%王跃林%王渭源
熊斌%黃小振%王躍林%王渭源
웅빈%황소진%왕약림%왕위원
硅%微机械%陀螺%微机械加工技术
硅%微機械%陀螺%微機械加工技術
규%미궤계%타라%미궤계가공기술
设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与衬底相联.计算结果表明,这种器件在大气压条件下其驱动模态和检测模态的品质因子几乎同为140.同时,计算结果还表明可以获得比较平坦的较大带宽.采用硅-玻璃键合和深反应离子刻蚀技术制作了这种器件.
設計瞭一種檢測模態和驅動模態具有相近品種因子的微機械陀螺.這種我們稱之為柵型結構的陀螺由懸空彈簧將具有柵條的檢測質量塊與襯底相聯.計算結果錶明,這種器件在大氣壓條件下其驅動模態和檢測模態的品質因子幾乎同為140.同時,計算結果還錶明可以穫得比較平坦的較大帶寬.採用硅-玻璃鍵閤和深反應離子刻蝕技術製作瞭這種器件.
설계료일충검측모태화구동모태구유상근품충인자적미궤계타라.저충아문칭지위책형결구적타라유현공탄황장구유책조적검측질량괴여츤저상련.계산결과표명,저충기건재대기압조건하기구동모태화검측모태적품질인자궤호동위140.동시,계산결과환표명가이획득비교평탄적교대대관.채용규-파리건합화심반응리자각식기술제작료저충기건.
