物理学报
物理學報
물이학보
2002年
5期
1108-1112
,共5页
超薄膜%Monte Carlo方法%外延生长%Morse势%分形
超薄膜%Monte Carlo方法%外延生長%Morse勢%分形
초박막%Monte Carlo방법%외연생장%Morse세%분형
用Monte Carlo (MC)方法对超薄膜外延生长过程进行了计算机模拟.模型中引入Morse势描述粒子间的相互作用,考虑粒子的沉积、吸附粒子的扩散和蒸发三个过程.研究了粒子间相互作用范围α和允许粒子行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响.结果表明:在不同的α值下,随粒子行走步数的增加,薄膜的生长经历了从分散、分形、混合到团聚的过程;其中α=6时,基本观察不到粒子的分散生长过程;α值越小且粒子行走步数越小的情况下,薄膜越易趋向于分散生长.
用Monte Carlo (MC)方法對超薄膜外延生長過程進行瞭計算機模擬.模型中引入Morse勢描述粒子間的相互作用,攷慮粒子的沉積、吸附粒子的擴散和蒸髮三箇過程.研究瞭粒子間相互作用範圍α和允許粒子行走的最大步數對薄膜生長形貌的影響.結果錶明:在不同的α值下,隨粒子行走步數的增加,薄膜的生長經歷瞭從分散、分形、混閤到糰聚的過程;其中α=6時,基本觀察不到粒子的分散生長過程;α值越小且粒子行走步數越小的情況下,薄膜越易趨嚮于分散生長.
용Monte Carlo (MC)방법대초박막외연생장과정진행료계산궤모의.모형중인입Morse세묘술입자간적상호작용,고필입자적침적、흡부입자적확산화증발삼개과정.연구료입자간상호작용범위α화윤허입자행주적최대보수대박막생장형모적영향.결과표명:재불동적α치하,수입자행주보수적증가,박막적생장경력료종분산、분형、혼합도단취적과정;기중α=6시,기본관찰불도입자적분산생장과정;α치월소차입자행주보수월소적정황하,박막월역추향우분산생장.
