太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2002年
4期
437-440
,共4页
杨宏%王鹤%于化丛%奚建平%胡宏勋%陈光德
楊宏%王鶴%于化叢%奚建平%鬍宏勛%陳光德
양굉%왕학%우화총%해건평%호굉훈%진광덕
太阳电池%常压化学汽相沉积%减反射膜
太暘電池%常壓化學汽相沉積%減反射膜
태양전지%상압화학기상침적%감반사막
报道了用常压化学汽相沉积(APCVD)工艺制备TiOx纳米光学薄膜的研究结果,讨论了衬底温度对薄膜结构及折射率的影响,实验验证了太阳电池对光学减反射膜的理论要求,优化了工艺条件,制备的TiOx纳米光学薄膜性能稳定,大面积颜色均匀一致.采用该工艺制备的TiOx减反射膜能使单晶硅太阳电池光电转换效率平均增加10%.
報道瞭用常壓化學汽相沉積(APCVD)工藝製備TiOx納米光學薄膜的研究結果,討論瞭襯底溫度對薄膜結構及摺射率的影響,實驗驗證瞭太暘電池對光學減反射膜的理論要求,優化瞭工藝條件,製備的TiOx納米光學薄膜性能穩定,大麵積顏色均勻一緻.採用該工藝製備的TiOx減反射膜能使單晶硅太暘電池光電轉換效率平均增加10%.
보도료용상압화학기상침적(APCVD)공예제비TiOx납미광학박막적연구결과,토론료츤저온도대박막결구급절사솔적영향,실험험증료태양전지대광학감반사막적이론요구,우화료공예조건,제비적TiOx납미광학박막성능은정,대면적안색균균일치.채용해공예제비적TiOx감반사막능사단정규태양전지광전전환효솔평균증가10%.
