真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2002年
1期
13-18
,共6页
真空微电子三极管%有限元法%电容%数值模拟
真空微電子三極管%有限元法%電容%數值模擬
진공미전자삼겁관%유한원법%전용%수치모의
以静电学基本原理、场致发射原理为基础,用有限元法在求得圆锥形、楔形阴极真空微电子三极管内静电场各点场强的前提下,考虑以往计算中忽略的各电极之间、栅极厚度对器件电容的影响进行极间电容的计算.通过计算多导体系统电荷密度较为精确地求得了圆锥形、楔形阴极真空微电子三极管的极间电容,讨论了器件各几何参数与电容的关系,对器件的优化设计与高频应用具有指导作用.模拟结果与已报道的实验结果符合较好.
以靜電學基本原理、場緻髮射原理為基礎,用有限元法在求得圓錐形、楔形陰極真空微電子三極管內靜電場各點場彊的前提下,攷慮以往計算中忽略的各電極之間、柵極厚度對器件電容的影響進行極間電容的計算.通過計算多導體繫統電荷密度較為精確地求得瞭圓錐形、楔形陰極真空微電子三極管的極間電容,討論瞭器件各幾何參數與電容的關繫,對器件的優化設計與高頻應用具有指導作用.模擬結果與已報道的實驗結果符閤較好.
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