光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2003年
5期
608-611
,共4页
乐开端%周翔%唐经源%张文定
樂開耑%週翔%唐經源%張文定
악개단%주상%당경원%장문정
振动模态%散斑平均%相移
振動模態%散斑平均%相移
진동모태%산반평균%상이
详细阐述了电子散斑时间平均法振动测量技术的原理,通过对影响测量精度的诸因素进行理论和实验分析,提出通过应用连续相位扫描技术克服相移系统相移不准确所带来的误差.通过散斑平均技术的实施,消除散斑对测量精度的影响.在实验中得到了满意的测量结果.通过线性近似法,解决了振幅低于30 nm的振动测量问题,从而使系统分辨率达到亚纳米级,测量精度达到纳米级.
詳細闡述瞭電子散斑時間平均法振動測量技術的原理,通過對影響測量精度的諸因素進行理論和實驗分析,提齣通過應用連續相位掃描技術剋服相移繫統相移不準確所帶來的誤差.通過散斑平均技術的實施,消除散斑對測量精度的影響.在實驗中得到瞭滿意的測量結果.通過線性近似法,解決瞭振幅低于30 nm的振動測量問題,從而使繫統分辨率達到亞納米級,測量精度達到納米級.
상세천술료전자산반시간평균법진동측량기술적원리,통과대영향측량정도적제인소진행이론화실험분석,제출통과응용련속상위소묘기술극복상이계통상이불준학소대래적오차.통과산반평균기술적실시,소제산반대측량정도적영향.재실험중득도료만의적측량결과.통과선성근사법,해결료진폭저우30 nm적진동측량문제,종이사계통분변솔체도아납미급,측량정도체도납미급.
