真空
真空
진공
VACUUM
2004年
3期
35-37
,共3页
杨丰帆%王万录%廖克俊%付光宗%张瑞俭%曹春兰
楊豐帆%王萬錄%廖剋俊%付光宗%張瑞儉%曹春蘭
양봉범%왕만록%료극준%부광종%장서검%조춘란
CIO膜%光电特性%退火处理%温差电动势
CIO膜%光電特性%退火處理%溫差電動勢
CIO막%광전특성%퇴화처리%온차전동세
研究了直流磁控反应溅射制备三元化合物CdIn2O4薄膜(简称CIO膜)的光电性质和温差电动势,及其反应气体中氧浓度和退火处理对CIO膜性质的影响.结果表明CIO膜在可见光区有良好的导电性和透光性,退火处理明显提高了膜的透光率和载流子浓度,这一影响对CIO的广泛应用具有重要的意义.
研究瞭直流磁控反應濺射製備三元化閤物CdIn2O4薄膜(簡稱CIO膜)的光電性質和溫差電動勢,及其反應氣體中氧濃度和退火處理對CIO膜性質的影響.結果錶明CIO膜在可見光區有良好的導電性和透光性,退火處理明顯提高瞭膜的透光率和載流子濃度,這一影響對CIO的廣汎應用具有重要的意義.
연구료직류자공반응천사제비삼원화합물CdIn2O4박막(간칭CIO막)적광전성질화온차전동세,급기반응기체중양농도화퇴화처리대CIO막성질적영향.결과표명CIO막재가견광구유량호적도전성화투광성,퇴화처리명현제고료막적투광솔화재류자농도,저일영향대CIO적엄범응용구유중요적의의.
