薄膜应力研究
박막응력연구
A Review of Study of Stress in Thin Films
  • 万方数据
    激光与光电子学进展 격광여광전자학진전
    LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
    2005年 1期 22-27 ,共6页

    邵淑英%范正修%范瑞瑛%邵建达

    소숙영%범정수%범서영%소건체

    薄膜%应力 薄膜%應力
    박막%응력
    综述了近几年薄膜应力研究的重点及新进展,探讨了薄膜应力研究的发展方向.
    종술료근궤년박막응력연구적중점급신진전,탐토료박막응력연구적발전방향.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문