红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
2期
197-200
,共4页
连洁%王青圃%程兴奎%陈大明%张飒飒
連潔%王青圃%程興奎%陳大明%張颯颯
련길%왕청포%정흥규%진대명%장삽삽
量子阱%光栅耦合%光栅参数
量子阱%光柵耦閤%光柵參數
양자정%광책우합%광책삼수
基于傅里叶光学的知识,分别对量子阱红外探测器的一维和二维光栅耦合模式进行了研究,得到器件的相对吸收率随波长和光栅周期之比的变化曲线,把此曲线作为优化光栅常数的依据.对于给定峰值波长的探测器,在波长与一维光栅周期之比为1时,吸收率最大;波长与二维光栅周期之比为0.7时,吸收效率最高,结果与已发表的数据相符.此外,还对刻蚀误差的影响进行了讨论,当实际刻蚀的光栅常数与优化的有偏差时,耦合效率降低.
基于傅裏葉光學的知識,分彆對量子阱紅外探測器的一維和二維光柵耦閤模式進行瞭研究,得到器件的相對吸收率隨波長和光柵週期之比的變化麯線,把此麯線作為優化光柵常數的依據.對于給定峰值波長的探測器,在波長與一維光柵週期之比為1時,吸收率最大;波長與二維光柵週期之比為0.7時,吸收效率最高,結果與已髮錶的數據相符.此外,還對刻蝕誤差的影響進行瞭討論,噹實際刻蝕的光柵常數與優化的有偏差時,耦閤效率降低.
기우부리협광학적지식,분별대양자정홍외탐측기적일유화이유광책우합모식진행료연구,득도기건적상대흡수솔수파장화광책주기지비적변화곡선,파차곡선작위우화광책상수적의거.대우급정봉치파장적탐측기,재파장여일유광책주기지비위1시,흡수솔최대;파장여이유광책주기지비위0.7시,흡수효솔최고,결과여이발표적수거상부.차외,환대각식오차적영향진행료토론,당실제각식적광책상수여우화적유편차시,우합효솔강저.
