微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
3期
40-43
,共4页
微定位机构%压电陶瓷%柔性铰链%数字闭环控制
微定位機構%壓電陶瓷%柔性鉸鏈%數字閉環控製
미정위궤구%압전도자%유성교련%수자폐배공제
针对精密工作台高速、低精度的矛盾,以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器,研究、设计了一种一维高分辨率压电式微定位机构.由于精密工作台高速运动产生的运动惯量较大,欲实现亚微米级的定位精度是很困难的,因而在精密工作台运行到位后,由微定位机构对检测装置所检测出的定位误差进行补偿,以提高工作台的定位精度;由于压电陶瓷微位移器件输出位移过小,因此提出了一种单自由度对称式柔性铰链放大机构来提高微定位行程.给出了机构的动力学模型,并结合光栅尺检测装置,设计并研制了数字闭环定位控制系统,对微定位机构的定位特性进行了测试.实测结果表明,此微定位系统可实现高分辨率、长行程定位,定位分辨率达0.01 μm.
針對精密工作檯高速、低精度的矛盾,以柔性鉸鏈為導嚮元件、壓電陶瓷為驅動器,研究、設計瞭一種一維高分辨率壓電式微定位機構.由于精密工作檯高速運動產生的運動慣量較大,欲實現亞微米級的定位精度是很睏難的,因而在精密工作檯運行到位後,由微定位機構對檢測裝置所檢測齣的定位誤差進行補償,以提高工作檯的定位精度;由于壓電陶瓷微位移器件輸齣位移過小,因此提齣瞭一種單自由度對稱式柔性鉸鏈放大機構來提高微定位行程.給齣瞭機構的動力學模型,併結閤光柵呎檢測裝置,設計併研製瞭數字閉環定位控製繫統,對微定位機構的定位特性進行瞭測試.實測結果錶明,此微定位繫統可實現高分辨率、長行程定位,定位分辨率達0.01 μm.
침대정밀공작태고속、저정도적모순,이유성교련위도향원건、압전도자위구동기,연구、설계료일충일유고분변솔압전식미정위궤구.유우정밀공작태고속운동산생적운동관량교대,욕실현아미미급적정위정도시흔곤난적,인이재정밀공작태운행도위후,유미정위궤구대검측장치소검측출적정위오차진행보상,이제고공작태적정위정도;유우압전도자미위이기건수출위이과소,인차제출료일충단자유도대칭식유성교련방대궤구래제고미정위행정.급출료궤구적동역학모형,병결합광책척검측장치,설계병연제료수자폐배정위공제계통,대미정위궤구적정위특성진행료측시.실측결과표명,차미정위계통가실현고분변솔、장행정정위,정위분변솔체0.01 μm.
