天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
11期
1351-1356
,共6页
张大卫%张胜泉%赵兴玉%王福军
張大衛%張勝泉%趙興玉%王福軍
장대위%장성천%조흥옥%왕복군
定位平台%气浮解耦机构%气浮导轨%运动稳定性
定位平檯%氣浮解耦機構%氣浮導軌%運動穩定性
정위평태%기부해우궤구%기부도궤%운동은정성
为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度,提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台.该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量.阐述了该气浮平台的解耦原理,探讨了节流孔直径和轴径间隙对平台承载能力和静态刚度的影响规律,同时得到一组优化参数.在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析,该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定,所得结论为该类气浮定位平台的设计提供了一定的理论基础.
為提高引線鍵閤機定位機構的運動速度和定位精度,提齣瞭一種基于氣浮導軌支撐的兩自由度高速精密定位平檯.該平檯採用瞭新型的氣浮解耦機構,使音圈電機置于固定支座上,有效地減小瞭定位平檯的運動慣量.闡述瞭該氣浮平檯的解耦原理,探討瞭節流孔直徑和軸徑間隙對平檯承載能力和靜態剛度的影響規律,同時得到一組優化參數.在此基礎上對平檯的運動穩定性進行深入分析,該平檯在給定的初始條件下可快速趨于穩定,所得結論為該類氣浮定位平檯的設計提供瞭一定的理論基礎.
위제고인선건합궤정위궤구적운동속도화정위정도,제출료일충기우기부도궤지탱적량자유도고속정밀정위평태.해평태채용료신형적기부해우궤구,사음권전궤치우고정지좌상,유효지감소료정위평태적운동관량.천술료해기부평태적해우원리,탐토료절류공직경화축경간극대평태승재능력화정태강도적영향규률,동시득도일조우화삼수.재차기출상대평태적운동은정성진행심입분석,해평태재급정적초시조건하가쾌속추우은정,소득결론위해류기부정위평태적설계제공료일정적이론기출.
