电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
9期
45-48
,共4页
PLC%步进电机%控制%反应离子刻蚀机
PLC%步進電機%控製%反應離子刻蝕機
PLC%보진전궤%공제%반응리자각식궤
提出了一种简单实现PLC直接控制步进电机的方法,设计了直接控制步进电机系统的软硬件.并在反应离子刻蚀机中验证了该方法是可行的,工作可靠.
提齣瞭一種簡單實現PLC直接控製步進電機的方法,設計瞭直接控製步進電機繫統的軟硬件.併在反應離子刻蝕機中驗證瞭該方法是可行的,工作可靠.
제출료일충간단실현PLC직접공제보진전궤적방법,설계료직접공제보진전궤계통적연경건.병재반응리자각식궤중험증료해방법시가행적,공작가고.
