真空
真空
진공
VACUUM
2011年
6期
15-17
,共3页
岳玉琛%任伟%李德军%赵梦鲤%郭美仙%张艺腾%顾汉卿
嶽玉琛%任偉%李德軍%趙夢鯉%郭美仙%張藝騰%顧漢卿
악옥침%임위%리덕군%조몽리%곽미선%장예등%고한경
化学气相沉积%碳纳米管%反应温度
化學氣相沉積%碳納米管%反應溫度
화학기상침적%탄납미관%반응온도
本文利用化学气相沉积( CVD)法,以乙烯为碳源气体,二茂铁为催化剂,在二氧化硅上制备出一系列碳纳米管,并通过拉曼光谱和扫描电子显微镜( SEM)对其形貌、结构和组分进行表征,分析反应温度对碳纳米管的影响.研究发现:当反应温度为860℃时,有均匀的碳纳米管薄膜生成,其管径和长度分别达到104 nm和95 μm,同时结构缺陷少,非碳管杂质较少,纯度较高.
本文利用化學氣相沉積( CVD)法,以乙烯為碳源氣體,二茂鐵為催化劑,在二氧化硅上製備齣一繫列碳納米管,併通過拉曼光譜和掃描電子顯微鏡( SEM)對其形貌、結構和組分進行錶徵,分析反應溫度對碳納米管的影響.研究髮現:噹反應溫度為860℃時,有均勻的碳納米管薄膜生成,其管徑和長度分彆達到104 nm和95 μm,同時結構缺陷少,非碳管雜質較少,純度較高.
본문이용화학기상침적( CVD)법,이을희위탄원기체,이무철위최화제,재이양화규상제비출일계렬탄납미관,병통과랍만광보화소묘전자현미경( SEM)대기형모、결구화조분진행표정,분석반응온도대탄납미관적영향.연구발현:당반응온도위860℃시,유균균적탄납미관박막생성,기관경화장도분별체도104 nm화95 μm,동시결구결함소,비탄관잡질교소,순도교고.
