微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2001年
4期
6-11
,共6页
彭开武%顾文琪%吴桂君%张福安
彭開武%顧文琪%吳桂君%張福安
팽개무%고문기%오계군%장복안
缩小投影电子束曝光%透射电镜%微细加工
縮小投影電子束曝光%透射電鏡%微細加工
축소투영전자속폭광%투사전경%미세가공
系统阐述了缩小投影(或纳米投影)电子束曝光技术的原理,以及如何将一台透射电镜改装为原理论证机的主要过程.内容包括机械结构的变动、电子光路的选择、调焦及曝光、成像系统的逐步演化、实验曝光结果与结论.
繫統闡述瞭縮小投影(或納米投影)電子束曝光技術的原理,以及如何將一檯透射電鏡改裝為原理論證機的主要過程.內容包括機械結構的變動、電子光路的選擇、調焦及曝光、成像繫統的逐步縯化、實驗曝光結果與結論.
계통천술료축소투영(혹납미투영)전자속폭광기술적원리,이급여하장일태투사전경개장위원이론증궤적주요과정.내용포괄궤계결구적변동、전자광로적선택、조초급폭광、성상계통적축보연화、실험폭광결과여결론.
