仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2003年
5期
543-546
,共4页
孙艳%孙锋%杨玉孝%谭玉山
孫豔%孫鋒%楊玉孝%譚玉山
손염%손봉%양옥효%담옥산
光纤%干涉%频谱%光程差
光纖%榦涉%頻譜%光程差
광섬%간섭%빈보%광정차
在"Y"型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片,入射光在薄膜层的上下表面处两次反射,由于光程差的存在,反射光会发生干涉.不需要测量干涉条纹,根据Fresnel反射定律,仅通过对反射光谱的分析计算,可以测出薄膜的厚度以及折射率.该方法测量精度高、速度快、对薄膜无破坏作用.膜厚测量范围为0.5至几十微米,测量误差小于7nm.
在"Y"型光纖一箇耑麵上垂直放置塗有透明薄膜的玻璃片,入射光在薄膜層的上下錶麵處兩次反射,由于光程差的存在,反射光會髮生榦涉.不需要測量榦涉條紋,根據Fresnel反射定律,僅通過對反射光譜的分析計算,可以測齣薄膜的厚度以及摺射率.該方法測量精度高、速度快、對薄膜無破壞作用.膜厚測量範圍為0.5至幾十微米,測量誤差小于7nm.
재"Y"형광섬일개단면상수직방치도유투명박막적파리편,입사광재박막층적상하표면처량차반사,유우광정차적존재,반사광회발생간섭.불수요측량간섭조문,근거Fresnel반사정률,부통과대반사광보적분석계산,가이측출박막적후도이급절사솔.해방법측량정도고、속도쾌、대박막무파배작용.막후측량범위위0.5지궤십미미,측량오차소우7nm.
