中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2005年
12期
1627-1630
,共4页
刘俭%谭久彬%赵晨光%单明广
劉儉%譚久彬%趙晨光%單明廣
류검%담구빈%조신광%단명엄
激光物理%激光直写%准直扩束%平面波%光斑强度%主瓣宽度
激光物理%激光直寫%準直擴束%平麵波%光斑彊度%主瓣寬度
격광물리%격광직사%준직확속%평면파%광반강도%주판관도
通过建立非理想准直光束残余高斯特征的功率密度模型,阐述了光束准直效果与功率密度的关系,借助光束通光比例系数对直写光斑强度分布影响的分析,以光斑主瓣、旁瓣的强度和宽度为主要特征,讨论了直写光斑强度及强度分布与光束准直效果的变化规律,确定了合理选取激光直写系统中准直扩束比例系数的原则.通过仿真不仅系统阐述了理想准直光束与非理想准直光束所形成的直写光斑形状的差异,还描述了理想准直光束近似计算光斑强度分布时的误差形式,这一结论为激光直写机准直系统设计提供了理论依据.
通過建立非理想準直光束殘餘高斯特徵的功率密度模型,闡述瞭光束準直效果與功率密度的關繫,藉助光束通光比例繫數對直寫光斑彊度分佈影響的分析,以光斑主瓣、徬瓣的彊度和寬度為主要特徵,討論瞭直寫光斑彊度及彊度分佈與光束準直效果的變化規律,確定瞭閤理選取激光直寫繫統中準直擴束比例繫數的原則.通過倣真不僅繫統闡述瞭理想準直光束與非理想準直光束所形成的直寫光斑形狀的差異,還描述瞭理想準直光束近似計算光斑彊度分佈時的誤差形式,這一結論為激光直寫機準直繫統設計提供瞭理論依據.
통과건립비이상준직광속잔여고사특정적공솔밀도모형,천술료광속준직효과여공솔밀도적관계,차조광속통광비례계수대직사광반강도분포영향적분석,이광반주판、방판적강도화관도위주요특정,토론료직사광반강도급강도분포여광속준직효과적변화규률,학정료합리선취격광직사계통중준직확속비례계수적원칙.통과방진불부계통천술료이상준직광속여비이상준직광속소형성적직사광반형상적차이,환묘술료이상준직광속근사계산광반강도분포시적오차형식,저일결론위격광직사궤준직계통설계제공료이론의거.
