超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2005年
5期
9-12
,共4页
金刚石膜%化学气相沉积法%低气压%细晶粒%拉曼分析
金剛石膜%化學氣相沉積法%低氣壓%細晶粒%拉曼分析
금강석막%화학기상침적법%저기압%세정립%랍만분석
金刚石/硅声表面波基片的金刚石层晶粒的细化有利于传播能量损耗的降低,采用热丝化学气相沉积法进行了硅基体上沉积细晶粒金刚石工艺的初步探索.探讨了基体温度、气压、氩气和甲烷浓度等因素对金刚石细晶粒生长的影响.对相应样品进行了扫描电镜和拉曼散射光谱分析.结果表明:在低气压范围、相同氩气浓度下,随着气压的降低,甲烷浓度也要相应降低,才能保证类似的金刚石结晶质量.同时,降低气压达到一定值后,金刚石晶粒尺寸变小,经测试可达到纳米级.
金剛石/硅聲錶麵波基片的金剛石層晶粒的細化有利于傳播能量損耗的降低,採用熱絲化學氣相沉積法進行瞭硅基體上沉積細晶粒金剛石工藝的初步探索.探討瞭基體溫度、氣壓、氬氣和甲烷濃度等因素對金剛石細晶粒生長的影響.對相應樣品進行瞭掃描電鏡和拉曼散射光譜分析.結果錶明:在低氣壓範圍、相同氬氣濃度下,隨著氣壓的降低,甲烷濃度也要相應降低,纔能保證類似的金剛石結晶質量.同時,降低氣壓達到一定值後,金剛石晶粒呎吋變小,經測試可達到納米級.
금강석/규성표면파기편적금강석층정립적세화유리우전파능량손모적강저,채용열사화학기상침적법진행료규기체상침적세정립금강석공예적초보탐색.탐토료기체온도、기압、아기화갑완농도등인소대금강석세정립생장적영향.대상응양품진행료소묘전경화랍만산사광보분석.결과표명:재저기압범위、상동아기농도하,수착기압적강저,갑완농도야요상응강저,재능보증유사적금강석결정질량.동시,강저기압체도일정치후,금강석정립척촌변소,경측시가체도납미급.
