真空
真空
진공
VACUUM
2007年
5期
39-42
,共4页
磁激活等离子体增强化学气相沉积%设备
磁激活等離子體增彊化學氣相沉積%設備
자격활등리자체증강화학기상침적%설비
针对PECVD中等离子体的密度沿径向分布均匀性较差、空间气氛化学活性较差的问题,在PECVD的基础上加入电子发射源和正交电磁场以控制电子的运动,从而增强等离子场的强度和范围,使反应场的活力增加,以提高反应空间的活化能力,继而提高膜层质量.结果表明,该方法可以使等离子场的分布发生改变,使等离子体密度及范围做到可控制且可调整.
針對PECVD中等離子體的密度沿徑嚮分佈均勻性較差、空間氣氛化學活性較差的問題,在PECVD的基礎上加入電子髮射源和正交電磁場以控製電子的運動,從而增彊等離子場的彊度和範圍,使反應場的活力增加,以提高反應空間的活化能力,繼而提高膜層質量.結果錶明,該方法可以使等離子場的分佈髮生改變,使等離子體密度及範圍做到可控製且可調整.
침대PECVD중등리자체적밀도연경향분포균균성교차、공간기분화학활성교차적문제,재PECVD적기출상가입전자발사원화정교전자장이공제전자적운동,종이증강등리자장적강도화범위,사반응장적활력증가,이제고반응공간적활화능력,계이제고막층질량.결과표명,해방법가이사등리자장적분포발생개변,사등리자체밀도급범위주도가공제차가조정.
