佳木斯大学学报（自然科学版）
佳木斯大學學報（自然科學版）
가목사대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIAMUSI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
2期
172-174,177
,共4页
范涛%于峰%任广斌%秦湘阁
範濤%于峰%任廣斌%秦湘閣
범도%우봉%임엄빈%진상각
亚单层%铜薄膜生长%扩散%动力学蒙特卡罗模拟
亞單層%銅薄膜生長%擴散%動力學矇特卡囉模擬
아단층%동박막생장%확산%동역학몽특잡라모의
建立了亚单层铜薄膜生长的三维模型,用动力学蒙特卡罗方法对亚单层铜薄膜的生长过程进行了模拟,研究了衬底温度和沉积速率对亚单层铜薄膜生长的影响,结果表明,随衬底温度升高和沉积速率降低,岛形状由离散型逐渐转变为紧致型,形成近四方形的岛,岛的平均尺寸急剧增大,岛的数目迅速减少,衬底温度达到一定值之后,岛的数目基本不变.
建立瞭亞單層銅薄膜生長的三維模型,用動力學矇特卡囉方法對亞單層銅薄膜的生長過程進行瞭模擬,研究瞭襯底溫度和沉積速率對亞單層銅薄膜生長的影響,結果錶明,隨襯底溫度升高和沉積速率降低,島形狀由離散型逐漸轉變為緊緻型,形成近四方形的島,島的平均呎吋急劇增大,島的數目迅速減少,襯底溫度達到一定值之後,島的數目基本不變.
건립료아단층동박막생장적삼유모형,용동역학몽특잡라방법대아단층동박막적생장과정진행료모의,연구료츤저온도화침적속솔대아단층동박막생장적영향,결과표명,수츤저온도승고화침적속솔강저,도형상유리산형축점전변위긴치형,형성근사방형적도,도적평균척촌급극증대,도적수목신속감소,츤저온도체도일정치지후,도적수목기본불변.
