电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2008年
2期
6-10
,共5页
扫描隧道显微镜%隧道效应%隧道间隙%幅频响应
掃描隧道顯微鏡%隧道效應%隧道間隙%幅頻響應
소묘수도현미경%수도효응%수도간극%폭빈향응
扫描隧道显微镜是高精度纳米级表面测量仪器,由于扫描隧道显微镜工作时的隧道间隙在几个纳米左右,外界任何微小的随机振动传递到仪器都会对测量结果产生影响,失去被测物表面的特征信息.因此,研究微振动,特别是低频纳米级振动在隧道状态下对隧道间隙的影响具有很重要的意义.实验表明,实验系统在隧道状态下对纳米级振动有很好的幅频响应.
掃描隧道顯微鏡是高精度納米級錶麵測量儀器,由于掃描隧道顯微鏡工作時的隧道間隙在幾箇納米左右,外界任何微小的隨機振動傳遞到儀器都會對測量結果產生影響,失去被測物錶麵的特徵信息.因此,研究微振動,特彆是低頻納米級振動在隧道狀態下對隧道間隙的影響具有很重要的意義.實驗錶明,實驗繫統在隧道狀態下對納米級振動有很好的幅頻響應.
소묘수도현미경시고정도납미급표면측량의기,유우소묘수도현미경공작시적수도간극재궤개납미좌우,외계임하미소적수궤진동전체도의기도회대측량결과산생영향,실거피측물표면적특정신식.인차,연구미진동,특별시저빈납미급진동재수도상태하대수도간극적영향구유흔중요적의의.실험표명,실험계통재수도상태하대납미급진동유흔호적폭빈향응.
