微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
5期
282-286
,共5页
刘茂哲%李全宝%焦斌斌%高超群%罗小光%景玉鹏%叶甜春
劉茂哲%李全寶%焦斌斌%高超群%囉小光%景玉鵬%葉甜春
류무철%리전보%초빈빈%고초군%라소광%경옥붕%협첨춘
射频开关%单晶硅%微机电系统(MEMS)%静电驱动%驱动电压%共面波导(CPW)
射頻開關%單晶硅%微機電繫統(MEMS)%靜電驅動%驅動電壓%共麵波導(CPW)
사빈개관%단정규%미궤전계통(MEMS)%정전구동%구동전압%공면파도(CPW)
提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关,给出了理论模拟,结构分析结果和工艺制作方法.该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分,可以缓解薄膜应力变形.翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题,并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题.利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低,有限元理论模拟驱动电压为5-10 V;采用翘板式结构增加了开关的使用周期,而且结构自身具有单刀双掷特点,可以直接应用于高频通信的频道选择.给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论.
提齣瞭一種新型的翹闆式靜電射頻微繫統開關,給齣瞭理論模擬,結構分析結果和工藝製作方法.該結構採用瞭5μm厚的無應力單晶硅作為開關的可動部分,可以緩解薄膜應力變形.翹闆式結構解決瞭傳統靜電設計中動作力弱的問題,併且通過調整支點解決瞭開關迴複力不可調的難題.利用該結構可以在保持高隔離度的同時使驅動電壓降低,有限元理論模擬驅動電壓為5-10 V;採用翹闆式結構增加瞭開關的使用週期,而且結構自身具有單刀雙擲特點,可以直接應用于高頻通信的頻道選擇.給齣瞭開關共麵波導傳輸線的測試結果和設計討論.
제출료일충신형적교판식정전사빈미계통개관,급출료이론모의,결구분석결과화공예제작방법.해결구채용료5μm후적무응력단정규작위개관적가동부분,가이완해박막응력변형.교판식결구해결료전통정전설계중동작력약적문제,병차통과조정지점해결료개관회복력불가조적난제.이용해결구가이재보지고격리도적동시사구동전압강저,유한원이론모의구동전압위5-10 V;채용교판식결구증가료개관적사용주기,이차결구자신구유단도쌍척특점,가이직접응용우고빈통신적빈도선택.급출료개관공면파도전수선적측시결과화설계토론.
