应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2009年
1期
43-45,49
,共4页
龙芋宏%史铁林%熊良才%柳海鹏
龍芋宏%史鐵林%熊良纔%柳海鵬
룡우굉%사철림%웅량재%류해붕
准分子激光%电化学%刻蚀%溶液
準分子激光%電化學%刻蝕%溶液
준분자격광%전화학%각식%용액
激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺.为了研究电.解兰对激光电化学刎蚀硅的影响,本文采用248nm KrF准分子激光作为光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极半导体n-Si上实现激光诱导电化学刻蚀.在实验的基础上,研究了经学溶液对激光电化学蚀Si的雇刻蚀速率的影响,并对其产生的原因进行了分析.试验结果表明:化学溶液对刻蚀工艺的影响主要采辣于小同浓度的溶液对激光的吸收和折射;采用吸收率较小、浓度较低的溶液和控制液膜厚度能有效减小溶液飞溅和溶液折射.本文中,溶液的厚度控制在1mm左右.
激光電化學刻蝕是將激光加工技術和電化學加工技術有機結閤起來而形成的一種複閤型刻蝕工藝.為瞭研究電.解蘭對激光電化學刎蝕硅的影響,本文採用248nm KrF準分子激光作為光源聚焦照射浸在KOH溶液中的暘極半導體n-Si上實現激光誘導電化學刻蝕.在實驗的基礎上,研究瞭經學溶液對激光電化學蝕Si的僱刻蝕速率的影響,併對其產生的原因進行瞭分析.試驗結果錶明:化學溶液對刻蝕工藝的影響主要採辣于小同濃度的溶液對激光的吸收和摺射;採用吸收率較小、濃度較低的溶液和控製液膜厚度能有效減小溶液飛濺和溶液摺射.本文中,溶液的厚度控製在1mm左右.
격광전화학각식시장격광가공기술화전화학가공기술유궤결합기래이형성적일충복합형각식공예.위료연구전.해란대격광전화학문식규적영향,본문채용248nm KrF준분자격광작위광원취초조사침재KOH용액중적양겁반도체n-Si상실현격광유도전화학각식.재실험적기출상,연구료경학용액대격광전화학식Si적고각식속솔적영향,병대기산생적원인진행료분석.시험결과표명:화학용액대각식공예적영향주요채랄우소동농도적용액대격광적흡수화절사;채용흡수솔교소、농도교저적용액화공제액막후도능유효감소용액비천화용액절사.본문중,용액적후도공제재1mm좌우.
