汕头大学学报(自然科学版)
汕頭大學學報(自然科學版)
산두대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHANTOU UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2002年
1期
27-31
,共5页
微光学透镜%台阶测试%硅碱性腐蚀%形成机理
微光學透鏡%檯階測試%硅堿性腐蝕%形成機理
미광학투경%태계측시%규감성부식%형성궤리
采用碱性腐蚀的典型微机械加工法,制备出了光滑曲面的硅微透镜列阵,对试验样品进行了轮廓曲线测试,计算出了该腐蚀工艺的快腐蚀面.重点研究了微透镜列阵凹面的形成机理,提出了与试验测试结果相吻合的解释模型,该模型对微光学透镜的设计加工具有重要指导意义.
採用堿性腐蝕的典型微機械加工法,製備齣瞭光滑麯麵的硅微透鏡列陣,對試驗樣品進行瞭輪廓麯線測試,計算齣瞭該腐蝕工藝的快腐蝕麵.重點研究瞭微透鏡列陣凹麵的形成機理,提齣瞭與試驗測試結果相吻閤的解釋模型,該模型對微光學透鏡的設計加工具有重要指導意義.
채용감성부식적전형미궤계가공법,제비출료광활곡면적규미투경렬진,대시험양품진행료륜곽곡선측시,계산출료해부식공예적쾌부식면.중점연구료미투경렬진요면적형성궤리,제출료여시험측시결과상문합적해석모형,해모형대미광학투경적설계가공구유중요지도의의.
