中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2006年
2期
25-29,35
,共6页
庄业%邵天敏%王慧%张晨辉%路新春%高学宁
莊業%邵天敏%王慧%張晨輝%路新春%高學寧
장업%소천민%왕혜%장신휘%로신춘%고학저
界面摩擦%高温%熔融玻璃%氮化物薄膜%接触角
界麵摩抆%高溫%鎔融玻璃%氮化物薄膜%接觸角
계면마찰%고온%용융파리%담화물박막%접촉각
使用多弧离子镀设备制备了AlTiN,CrN,TiN,ZrN薄膜,在850℃条件下,利用自行研制的高温界面摩擦试验装置对上述薄膜与熔融玻璃之间的界面摩擦行为进行了试验研究.利用X射线衍射分析了上述4种薄膜在高温试验前后的物相结构变化.此外,在500℃条件下测量了4种材料与熔融玻璃的高温润湿行为.试验结果表明CrN,TiN,ZrN 3种薄膜材料具有良好的抗高温氧化性能,而AlTiN薄膜在高温下会逐渐氧化生成A12TiO5氧化膜,该氧化膜能够阻止氧化反应的继续进行,且A1TiN,CrN,TiN,ZrN 4种薄膜与熔融玻璃之间的接触角与界面摩擦存在对应关系.
使用多弧離子鍍設備製備瞭AlTiN,CrN,TiN,ZrN薄膜,在850℃條件下,利用自行研製的高溫界麵摩抆試驗裝置對上述薄膜與鎔融玻璃之間的界麵摩抆行為進行瞭試驗研究.利用X射線衍射分析瞭上述4種薄膜在高溫試驗前後的物相結構變化.此外,在500℃條件下測量瞭4種材料與鎔融玻璃的高溫潤濕行為.試驗結果錶明CrN,TiN,ZrN 3種薄膜材料具有良好的抗高溫氧化性能,而AlTiN薄膜在高溫下會逐漸氧化生成A12TiO5氧化膜,該氧化膜能夠阻止氧化反應的繼續進行,且A1TiN,CrN,TiN,ZrN 4種薄膜與鎔融玻璃之間的接觸角與界麵摩抆存在對應關繫.
사용다호리자도설비제비료AlTiN,CrN,TiN,ZrN박막,재850℃조건하,이용자행연제적고온계면마찰시험장치대상술박막여용융파리지간적계면마찰행위진행료시험연구.이용X사선연사분석료상술4충박막재고온시험전후적물상결구변화.차외,재500℃조건하측량료4충재료여용융파리적고온윤습행위.시험결과표명CrN,TiN,ZrN 3충박막재료구유량호적항고온양화성능,이AlTiN박막재고온하회축점양화생성A12TiO5양화막,해양화막능구조지양화반응적계속진행,차A1TiN,CrN,TiN,ZrN 4충박막여용융파리지간적접촉각여계면마찰존재대응관계.